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粒子法プラズマ解析ソフトウェア

Particle-PLUSとはAbout Particle-PLUS

Particle-PLUSは非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。 特に、希薄気体中(低圧下)や壁近傍でのプラズマ現象の解析を得意としております*。 これまでに国内外問わず多くの企業様への導入実績があり、 皆様から多くのご好評のお声をいただいております。 本ソフトウェアは(株)ウェーブフロントが独自に開発したソフトウェアです。 ソフトウェアについての詳細は、 ソフトウェア詳細をご覧ください。

* ガス密度が数百Paを超える状態でのプラズマ解析をご検討されている場合は、 VizGlowをご覧ください。 大気圧プラズマ解析(アークプラズマ解析)をご検討されている場合は、 VizSparkをご覧ください。

図:マグネトロン(左)やCCP(右)での電子密度分布の時間変化。Particle-PLUSでは、他にも様々なモデルでプラズマの挙動を解析できます。

開発理念Development philosophy

プラズマプロセスは薄膜作成という集積回路の製造工程において避けては通れない産業技術として広く活用されてきました。 その一方で、装置の内部で何が起きているのかを測定することは難しく、 技術者の勘や経験に頼っていたことも事実です。 人類の持つ技術により装置の状態を何とかして知り、ものづくりに活かせないのか。 Particle-PLUSはITの力でそのような困難に立ち向かうツールとして約30年前に開発され、 時代のニーズを徐々に取り込みながら今なお洗練され使われ続けているソフトウェアです。 そして目まぐるしく新しい技術が生まれる現代において、 Particle-PLUS開発チームは、 これまでは難しく考えられ敬遠されがちであったプラズマシミュレーションをより広く活用していただきたいと考えております。 高度な専門知識を有する熟練のエンジニアのみならず、 製造現場の最前線に立つエンジニアの皆様にも気軽に使っていただけるようなソフトウェアを目指しております。

Particle-PLUSでできることWhat Particle-PLUS can do

Particle-PLUSでは、マグネトロンスパッタリング、CCP、ICP、プラズマCVD、プラズマエッチング、 荷電粒子ビーム、電気泳動などのプロセスにおけるプラズマの挙動を解析することができます。 ソフトウェアの適用事例についてより詳しく知りたい方は事例集をご覧ください。

充実のサービス内容Service

Particle-PLUS開発チームは製造業の皆様に寄り添い全力でものづくりを応援させていただきます。 お困りの声に対する安心のサポートやソフトウェア利用講習会、 お客様からの要望をお聞きして機能を追加するカスタム開発などのサービスを提供させていただいております。 また、ソフトウェアのご購入だけではなく、受託開発も承っております。 サービス内容についてより詳しく知りたい方はサービス紹介をご覧ください。