事例
VizGlowの計算例: 単純な反応器中のCCP（容量結合プラズマ）
ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr、 周波数 100.0 MHz
一般的な反応器中のCCP
ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr、 周波数 100.0 MHz
流れを伴う低圧反応器中のCCP
ガス種 CF4、 圧力 20 mTorr、 周波数 100.0 MHz
流れを伴う低圧反応器中のCCP
ガス種 CF4、 圧力 20 mTorr、 周波数 100.0 MHzA
高圧反応器中のCCP
ガス種 Ar、 圧力 1 Torr、 周波数 13.56 MHz
高圧反応器中のCCP
ガス種 Ar、 圧力 1 Torr、 周波数 13.56 MHz
事例
VizGlowの計算例: 大気中のストリーマ
ガス種 Air 、 圧力 760Torr、 電圧 10000 V
事例
ドーム型反応器中のICP(誘導結合プラズマ)
ガス種 Ar、 圧力 5 mTorr、 周波数 0.46 MHz、 電力 2000 W
流れを伴うICP
ガス種 Ar、圧力13.3Pa、 周波数 13.56 MHz、 電力 300 W、 流量 100 sccm
ガス種 Ar、 圧力13.3Pa、 周波数 13.56 MHz、 電力 300 W、 流量 100 sccm
バイアスを伴った自己無撞着ICP
ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr、 周波数 13.56 MHz、 バイアス -100 V、 電力 1000 W
事例
一般的な反応器中のマイクロ波プラズマ
ガス種 Ar、 圧力 97.5 mTorr、 周波数 2.45 GHz、 電力 1000 W
事例
VizGlowの計算例: DCマグネトロンプラズマ
ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr
事例
VizGlowの計算例: L字導波管中の電磁波
周波数 1.50 GHz、 内部の比誘電率 1.0、 電磁波の成分 TM