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事例

VizGlowの計算例: 単純な反応器中のCCP

ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr、 周波数 100.0 MHz

一般的な反応器中のCCP

ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr、 周波数 100.0 MHz

流れを伴う低圧反応器中のCCP

ガス種 CF4、 圧力 20 mTorr、 周波数 100.0 MHz

流れを伴う低圧反応器中のCCP

ガス種 CF4、 圧力 20 mTorr、 周波数 100.0 MHzA

高圧反応器中のCCP

ガス種 Ar、 圧力 1 Torr、 周波数 13.56 MHz

高圧反応器中のCCP

ガス種 Ar、 圧力 1 Torr、 周波数 13.56 MHz

事例

VizGlowの計算例: 大気中のストリーマ

ガス種 Air 、 圧力 760Torr、 電圧 10000 V

事例

ドーム型反応器中のICP(誘導結合プラズマ)

ガス種 Ar、 圧力 5 mTorr、 周波数 0.46 MHz、 電力 2000 W

流れを伴うICP

ガス種 Ar、圧力13.3Pa、 周波数 13.56 MHz、 電力 300 W、 流量 100 sccm

ガス種 Ar、 圧力13.3Pa、 周波数 13.56 MHz、 電力 300 W、 流量 100 sccm

バイアスを伴った自己無撞着ICP

ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr、 周波数 13.56 MHz、 バイアス -100 V、 電力 1000 W

事例

一般的な反応器中のマイクロ波プラズマ

ガス種 Ar、 圧力 97.5 mTorr、 周波数 2.45 GHz、 電力 1000 W

事例

VizGlowの計算例: DCマグネトロンプラズマ

ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr

事例

VizGlowの計算例: L字導波管中の電磁波

周波数 1.50 GHz、 内部の比誘電率 1.0、 電磁波の成分 TM