Particle-PLUS 事例集 - CCPによるクリーニング処理

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計算概要Computation Summary

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP(容量結合プラズマ)エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 (PDFが表示されないときはここをクリックするか、 ページの再読み込みをしてください。)

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