プラズマのガス種・気相反応データベース

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プラズマプロセスでよく用いられるガス種やスパッタリングターゲット材などの物性データが、Particle-PLUSには標準で付属しています。 これらはデータベースにして管理されており、お客様ご自身でデータを追加・編集することも可能です。 また、データ追加の補佐も承っております。 酸化物・窒化物などのデータ収集が困難な標準外ターゲットについての物性データ作成サポートについても承っております。 （弊社で取り扱っている材料系シミュレータ「Materials Studio」を活用してご希望の物性データを作成します。）

気相衝突反応データが網羅されているプラズマガス種一覧 原子分子の気相衝突過程および反応

図：気相衝突反応データ一覧（左）と各反応過程詳細（右）の例。

標準データベースに登録済みのガス種およびターゲット材（単体物質）

図：標準データベースに登録済みのガス種およびターゲット材（単体物質）。

プラズマ計算用 ガス種データ一覧List of Plasma-Gas Data

一般ガス・貴ガス（希ガス）

  • 水素 H2
  • 窒素 N2
  • 酸素 O2
  • ヘリウム He
  • ネオン Ne
  • アルゴン Ar
  • クリプトン Kr
  • キセノン Xe

特殊材料ガス（一部）

  • モノシラン SiH4
  • アンモニア NH3
  • 亜酸化窒素 N2O

各種混合ガス

腐食性ガス（一部）

  • フッ素 F2
  • 塩素 Cl2
  • 塩化水素 HCl
  • 臭化水素 HBr
  • 三フッ化窒素 NF3
  • 三塩化ホウ素 BCl3
  • フロン-14 CF4
  • フロン-23 CHF3
  • フロン-116 C2F6
  • フロン-C318 C4F8

その他のガス

  • メタン CH4
  • 重水素 D2

スパッタリング計算用 ターゲット材料データ一覧List of Sputtering-Target Data

酸化物ターゲット（一部）

二元系酸化物

  • 酸化ケイ素(IV) SiO2
  • 酸化アルミニウム(III) Al2O3
  • 酸化チタン(IV) TiO2
  • 酸化ハフニウム(IV) HfO2
  • 酸化タンタル(V) Ta2O5
  • 酸化亜鉛 ZnO
  • 酸化インジウム(III) In2O3
  • 酸化スズ(IV) SnO2

三元系酸化物

  • ITO InxSn(2-x)O3
  • ZTO Zn2SnO4
  • AZO ZnAl2O4
  • GZO ZnGa2O4
  • チタン酸バリウム BaTiO3
  • チタン酸鉛(II) PbTiO3
  • ニオブ酸リチウム LiNbO3
  • チタン酸リチウム LiTaO3

窒化物ターゲット（一部）

二元系窒化物

  • 窒化アルミニウム AlN
  • 窒化チタン TiN
  • 窒化インジウム InN
  • 窒化ガリウム GaN

三元系窒化物

  • AlGaN AlxGa(1-x)N
  • InGaN InxGa(1-x)N

単体ターゲット（一部）

強磁性金属

  • 鉄 Fe
  • コバルト Co
  • ニッケル Ni

貴金属

  • 金 Au
  • 銀 Ag
  • 白金 Pt
  • イリジウム Ir
  • ルテニウム Ru
  • ロジウム Rh
  • パラジウム Pd

その他の金属

  • アルミニウム Al
  • チタン Ti
  • バナジウム V
  • クロム Cr
  • マンガン Mn
  • 銅 Cu
  • 亜鉛 Zn

　

  • ジルコニウム Zr
  • ニオブ Nb
  • モリブデン Mo
  • インジウム In
  • スズ（錫） Sn
  • ハフニウム Hf
  • タンタル Ta
  • タングステン W

半金属・非金属

  • 炭素 C
  • ホウ素 B
  • ケイ素 Si
  • テルル Te

関連項目See also

ソフトウェア機能紹介

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