Particle-PLUS　ソフトウェア詳細 - 出力可能な項目

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Particle-PLUSでは、プラズマモジュール・中性ガスモジュールのそれぞれにおいて主に以下のような出力が得られます。 その他にも多くの物理量を、GUIからオプション機能を設定することで追加出力できます。 さらに、計算制御に関する出力項目を確認することもできます。 また、弊社ではお客様のご要望により出力項目を追加するカスタマイズサービスも承っております。

プラズマモジュールの出力項目Outputs from plasma module

物理量の空間分布

  • 数密度*1
  • 反応生成量
  • 速度*1,*2
  • 流速*1
  • エネルギー流速*1
  • 温度*1
  • エネルギー*1
  • ジュール熱
  • 電位
  • 電荷密度
  • 電場*2
  • 磁場*2
  • デバイ長
  • サイクロトロン/プラズマ周波数
  • ラーモア半径

物理量の時間推移

  • 総粒子数*1
  • 反応比
  • 電極電圧
  • 帯電電荷量
  • エネルギー*1
  • 消費パワー*1

ヒストグラム

  • 入射エネルギー
  • 入射角度（極角・方位角）*1
  • 電子エネルギー分布
*1 電子・イオン種ごとに出力されます。
*2 ベクトルとして、ノルム・成分がそれぞれ出力されます。

中性ガスモジュールの出力項目Outputs from neutral gas module

物理量の空間分布

  • 数密度*1
  • 速度*1,*2
  • 流速*1
  • 温度*1
  • エネルギー*1
  • 圧力

物理量の表面分布

  • 入射粒子数*1
  • 入射エネルギー*1
  • デポジションレート*1
  • エロージョンレート

物理量の時間推移

  • 総粒子数*1

ヒストグラム

  • 入射角度*1
*1 電子・イオン種ごとに出力されます。
*2 ベクトルとして、ノルム・成分がそれぞれ出力されます。