Particle-PLUS　ソフトウェア詳細 - 入力可能な項目

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Particle-PLUSでは、プラズマモジュール・中性ガスモジュールそれぞれで主に以下のような第一原理計算のための設定入力が可能です。 下記設定値のほかに、数値計算制御のためのパラメータ（時間刻み幅やシミュレーション粒子数など）や各種初期条件などを各自で変更することも可能です。

計算モデルSimulation model

2D平面モデル

2D軸対称モデル

3Dモデル

プラズマモジュールの設定可能項目例inputs for plasma module

境界条件

  • 電極
  • 誘電体

電極電圧

  • 直流・直流バイアス
  • 正弦/短形/三角波
  • 正弦/短形/三角パルス
  • 複合波

コイル電流

  • 正弦/三角波

磁場

  • 磁石設置の設定
  • ファイルデータ読み込み

外部回路

  • 誘導係数（インダクタンス）
  • 電気抵抗（レジスタンス）
  • 静電容量（キャパシタンス）

実験室条件

  • チャンバ内の中性ガス密度または圧力
  • 温度

衝突反応・気相反応

  • 反応データベース（編集可能）により設定

表面反応

  • 帯電（誘電体・浮遊電極・接続されたコンデンサ）
  • 壁に到達した粒子の反射*1
  • 壁での2次粒子（電子・イオン）放出
  • 壁からの荷電粒子（電子・イオン）流入出*2
*1 粒子の反射は乱反射・鏡面反射による指定が可能。
*2 粒子の流入は、等方的・角度指定・$\cos^{n}$則による指定が可能。

中性ガスモジュールの設定可能項目例inputs for neutral gas module

初期条件

  • 温度
  • 圧力
  • 速度

境界条件

  • 流出入*1
  • 反射*2
  • 吸着
  • 蒸発・脱離
  • スパッタ*3

分子間衝突

励起種やラジカルの発生*4

*1 粒子の反射は乱反射・鏡面反射による指定が可能。
*2 粒子の流入は、等方的・角度指定・$\cos^{n}$則による指定が可能。
*3 スパッタ条件にはプラズマモジュールのイオンフラックスの結果を利用する。
*4 プラズマモジュールの反応生成量の結果を利用する。