Particle-PLUS　事例集 - GEC-CCP装置のプラズマ解析

計算概要Computation Summary

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 （PDFが表示されないときはここをクリックするか、 ページの再読み込みをしてください。）

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