プラズマコンサルティングサービス

私共では、お客様のお求めに応じて、以下のような非平衡プラズマに関連するコンサルティングサービスを提供しております。
詳細は下記の「コンサルティングサービスの内容」の節に記載されておりますが、ソフトウェアの開発の他にも、プラズマ解析を初めて行われるような場合には、解析内容の検討からどのようなステップで解析を進めていくのか、等の解析プランの策定もお手伝いしておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
また、詳細資料が画面下部にございますので、ご興味がございましたら、ご参照下さい。

半導体プロセスプラズマ

容量結合型プラズマ反応炉 (CCP:Cpacitively Coupled Plasma Reactor)
誘導結合型プラズマ反応炉 (ICP:Inductively Coupled Plasma Reactor)
マグネトロンスパッタリング装置

大気圧放電プラズマ

DBD(誘電体バリア放電)
ストリーマ放電
スパーク放電 (ストリーマ放電からアーク放電への遷移過程)
マイクロ波励起を利用したスパーク放電

これらの放電現象は、内燃機関の燃焼効率向上のための手段として現在注目されている分野です。
また、内燃機関への応用以外にも表面処理、滅菌処理等の幅広い分野に応用されています。

コンサルティングサービスの内容

私共保有のプラズマシミュレーションソフトウェアを使用して
お客様ご要望の機能を実現するためのソフトウェアの開発を行います。

私共保有のプラズマシミュレーションソフトウェアを使用して
お客様の問題解決のための解析を行い、解析結果を報告書として提出いたします。

ポジティブストリーマの解析事例

以下に、針状電極と平板電極間に30KVの電圧を印加した場合のポジティブストリーマの伝播の様子を示します。
最初の図は、電圧印加後5nsの電子密度の分布を示しています。 2番目、3番目の図は、それぞれ10ns後の電子及びOラディカルの密度分布を示しています。

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詳細資料

プラズマコンサルティングに関する詳細資料を以下に掲示します。ご興味のある方はご参照下さい。より詳細なご説明をご希望される方はお問い合わせ下さい。

【論文】ストリーマ放電及び活性種生成の3 次元シミュレーション

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