トップページ > CAE ソリューション > CFD-ACE+ > CFD-ACE+ SOLVER > Plasma Module
CFD-ACE+ Menu
事例・ギャラリー
カタログ・資料
サポート・補足情報
-
CFD-ACE+ は CFD Research Corporation により開発されました。
-
CFD-ACE+ は ESI GROUP の登録商標です。
Plasma Module
プラズマ解析モジュール
CFD-ACE+のプラズマ解析モジュールは各種プラズマリアクターおよびプロセスにつき、種々の運転条件下（ガス組成、1mTorrから760 Torrの圧力他）で非平衡プラズマのシミュレーションが可能です。
化学反応モジュールを使用して、イオン、中性化学種の輸送をシミュレートし電子によって励起される化学反応率を定義します。
カイネティックモジュール( Kinetic Module)を使用すれば、電子の非マクスウェル分布関数を考慮することが可能です。
本モジュールを使用することで以下のような解析を行うことが可能となります。
■ICPリアクター内におけるプラズマの分布及び成膜速度分布
■CCPプラズマにおけるRF周期によるシースの振動およびそれに伴う表面のイオンエネルギー分布
■TCPリアクター内におけるプラズマ解析
■アーク放電時におけるプラズマ分布
■DBDプラズマ(誘電体間でのプラズマの振動を解析)
※その他ガス種としてSF6を使用した解析事例などもございますので、事例の資料がご必要な方は
お問い合わせページよりお問い合わせ下さい。
プラズマ解析モジュールのメインオプション
- Inductively Coupled Plasma (ICP)
- Capacitively Coupled Plasma (CCP)
- Positive Column (PC)
- Global
ICPオプションでは電子のエネルギー方程式から電子温度を求めます。
電子密度と電場は擬似中性の条件から求めます。
電子は電磁場により加熱されますが、この電磁場は電磁場解析モジュールにより計算されます。
CCPオプションが使用される場合には電子のエネルギー方程式および電子密度の方程式から電子温度と電子密度を求めます。
電場はポアッソン方程式を解き求めますがこれは静電場解析モジュールにより計算されます。
PCオプションでは直流放電によるPCプラズマの半径方向の構造を計算するのに使用されます。 このオプションは電子が外部からの直流による電場で加熱される事を除くとCCPと同様です。
Globalモデルは低圧力プラズマの高速シミュレーション、化学反応モデルの感度解析および電子のカイネティック効果の解析に使用されます。 このモデルでは荷電粒子およびアクティブなラディカルの反応炉からの損失は１セルモデルにより壁への拡散により制御されると仮定しています。
プラズマモジュールには、プラズマ化学反応の拡張ライブラリおよび電子の衝突断面積
およびイオンの輸送係数からなるデータベースが付属しています。
プラズマモジュールは多くの事例により検証されており、多くの工業分野（特に半導体）で使用されています。
CFD-ACE+ 適用事例
ICPシミュレーション
CCPシミュレーション
PC Oxygen Plasmaにおける
荷電粒子分布
Global Kinetic
シミュレーション
お問合せは 
まで